Rastersondenmikroskopie

CSI Nano-Beobachter

CSI

Das Nano-Observer AFM-Mikroskop ist eine flexible und leistungsstarke AFM-Plattform für verschiedene Betriebsarten und Messbedingungen.

CSI Nano-Observer Mehrfach-Mode-AFM

Seine Entwicklung ist das Ergebnis einer langjährigen Zusammenarbeit mit verschiedenen AFM-Akteuren und -Labors.

Das Ergebnis ist eine clevere Kombination aus analoger und digitaler Elektronik mit hochwertigen Komponenten, die das geringste Rauschen und die beste Genauigkeit in einem robusten und flexiblen Instrument bieten.

Der Nano-Observer verwendet einen fortschrittlichen, flachen Scannertisch, um die bekannten Defekte des piezoelektrischen Röhrenscanners wie Krümmung, X-Y-Übersprechen usw. zu vermeiden.

Eine geräuscharme Rückkopplungssteuerung sorgt für zuverlässige und hohe Leistung.

Einfache und intuitive Bedienung

Vorausgerichtete Spitzenhalter vermeiden zeitaufwändige Laserausrichtung

Ein von oben und von der Seite sichtbares Videomikroskop mit seitlicher Beleuchtung sorgt für eine perfekte optische Kontrolle bei der Annäherung an die Spitze und der Probennavigation

8 elektrische Kontakte an der Spitze ermöglichen den Betrieb in verschiedenen Modi mit ein und derselben Spitze

Die intuitive Nanosolution-Software ermöglicht das einfache Umschalten zwischen vorkonfigurierten Messmodi ohne zusätzliche Module oder Anschlüsse

Mehrere Modi

Die Nano-Observer-Plattform basiert auf einem modularen Design. Zusätzlich zur Standardkonfiguration, die den Betrieb aller Topographiemodi ermöglicht, kann das AFM mit erweiterten elektrischen Modi zur Messung von elektrischen Feldern, Probenwiderstand, Dotierungskonzentration, piezoelektrischen Eigenschaften, aber auch für magnetische Eigenschaften in Magnetfeldgeneratoren, Messungen in speziellen Gasatmosphären, Flüssigkeiten oder variablen Temperaturen aufgerüstet werden.

ResiScopeTM Soft ResiScope

Fortschrittliche leitfähige Nano-Charakterisierung

Die ResiScope ist das fortschrittlichste Modul für Leitfähigkeitsmessungen, das Leitfähigkeitsmessungen über 10 Dekaden (von 100 fA bis 1 mA) in einem Bild ermöglicht.

Oberflächen, die sowohl hochleitende als auch isolierende Bereiche aufweisen, können abgebildet werden, wobei unerwünschte Nebeneffekte wie sondeninduzierte lokale Oxidation, bimetallische Effekte oder das Schmelzen der leitfähigen Beschichtung vermieden werden.

Es kann mit verschiedenen dynamischen Modi wie MFM/EFM oder KFM kombiniert werden und bietet mehrere Signalkanäle mit derselben Spitze auf derselben Probenfläche.

Die Weich ResiScope ermöglicht die Leitfähigkeitsmessung auch für den Intermittierenden Kontaktmodus.

So können selbst für empfindliche und weiche Oberflächen Leitfähigkeitskarten erstellt werden, die mit Contact Conductive AFM-Techniken niemals messbar wären.

ResiScope Messbeispiele:

Weiches ResiScope: Körnige Goldschicht auf dotiertem Si-Scan Größe 5µm
Untersuchung des komplexen Korns einer Edelstahllegierung, Scangröße 1 μm
P-MOS-Transistor Abtastgröße 1,5 μm
SiC – Dotierungsprofile

Rastermikrowellen-Impedanzmikroskopie

Rastermikrowellen-Impedanzmikroskopie (sMIM) ist ein neuer AFM-Abbildungsmodus, der die Ladungsträgerkonzentration und den Ladungsträgertyp (n oder p) in qualitativ hochwertigen Bildern mit einer Auflösung von mehr als 50 nm liefert.

Das Herzstück der sMIM-Technologie ist die Nutzung von 3GHz-Mikrowellenreflexionen von einem Probenbereich im nm-Bereich direkt unter dem sehr kleinen räumlichen Bereich einer sMIM-Sondenspitze.

Durch die Analyse der Probenreaktion können die lokalen Probeneigenschaften ε, σ und μ bestimmt werden.

Diese Methode ist mit einer breiten Palette von Materialien kompatibel: Dielektrika, Isolatoren, Halbleiter und Metalle.

Im Gegensatz zu anderen herkömmlichen elektrischen AFM-Modi kann sMIM diese verschiedenen Materialklassen gleichzeitig abbilden, ohne dass mehrere Einstellungen oder Messungen erforderlich sind.

SRAM, Topographie & dC/dV-Signale, Abtastgröße 13µm

Modul für das magnetische Seitenfeld

Magnetisches Seitenfeldmodul (MLFM) ermöglicht magnetische Kraftmikroskopie (MFM) Messungen in einem kontrollierbaren externen Magnetfeld. Eine mögliche Anwendung ist zum Beispiel die Abbildung des Verhaltens magnetischer Domänen in Abhängigkeit von der äußeren Feldstärke.

Strukturen unter verschiedenen Magnetfeldern, 50 bis 470 Gauss, 3µm, mlfm-Modus

Umweltkontrolle und optischer Zugang

Der Nano-Observer wurde entwickelt, um Umweltkontrollen (Gas, Feuchtigkeit...) zu ermöglichen. Er ist kompatibel mit allen elektrischen Betriebsarten, die oft trockene und sauerstofffreie Bedingungen erfordern.

Darüber hinaus kann die Probentemperatur von Raumtemperatur bis 200 °C gesteuert werden, um temperaturabhängige Veränderungen der Oberflächeneigenschaften zu untersuchen.

Auch eine Plug-and-Play-Flüssigkeitszelle ist verfügbar. Sie ermöglicht das Flüssigkeits-Scannen ohne zusätzliche Einstellungen oder Laser-Vorjustierung.

Das kompakte Design des Nano-Observers ermöglicht darüber hinaus die einfache Integration in einen optischen Analyseaufbau wie z.B. Raman.

HD-KFM auf HOPG-Probe Feuchtigkeitskontrolle 15 µm

0 min
15 min
30 min
45 min

Anwendungsbereiche

  • Halbleiter
  • Metalle
  • Nanotechnologien
  • Fotovoltaik
  • Dünnfilm & Beschichtung
  • Polymere
  • DNA
  • Zelle
  • Proteine

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