Microcopie a sonde locale

Nano-observateur CSI

CSI

Le microscope AFM Nano-Observer est une plate-forme AFM flexible et puissante qui permet d'utiliser différents modes de fonctionnement et conditions de mesure.

CSI Nano-Observer Multiple-Mode AFM

Son développement est le résultat de nombreuses années de collaboration avec différents acteurs et laboratoires de l'AFM.

Le résultat est une combinaison intelligente d'électronique analogique et numérique, incorporant des composants de première qualité pour offrir le bruit le plus faible et la meilleure précision sur un instrument robuste et flexible.

Le Nano-Observer utilise une platine de balayage avancée pour éviter les défauts bien connus du scanner à tube piézoélectrique tels que l'arc, la diaphonie X-Y, etc.

Un contrôle de rétroaction à faible bruit permet d'obtenir des performances élevées et fiables.

Facilité d'utilisation et fonctionnement intuitif

Les porte-pointes à pré-alignement évitent un alignement laser fastidieux.

Un vidéomicroscope à vue supérieure et latérale avec éclairage latéral assure un contrôle optique parfait pour l'approche de la pointe et la navigation de l'échantillon.

8 contacts électriques avec l'embout permettent de travailler dans différents modes avec un seul et même embout

Le logiciel intuitif Nanosolution permet de passer facilement d'un mode de mesure préconfiguré à un autre, sans ajouter de modules ou de connexions.

Modes multiples

La plateforme Nano-Observer est basée sur une conception modulaire. En plus de la configuration standard qui permet d'utiliser tous les modes de topographie, l'AFM peut être équipé de modes électriques avancés pour mesurer les champs électriques, la résistivité de l'échantillon, la concentration de dopage, les propriétés piézoélectriques, mais aussi les propriétés magnétiques dans les générateurs de champ magnétique, les mesures dans des atmosphères gazeuses spéciales, les liquides ou les températures variables.

ResiScopeTM et Soft ResiScope

Nano-caractérisation conductrice avancée

Les ResiScope est le module le plus avancé pour les mesures de conductivité. Il permet de mesurer la conductivité sur 10 décennies (de 100 fA à 1 mA) en une seule image.

Les surfaces présentant à la fois des domaines hautement conducteurs et isolants peuvent être cartographiées en évitant les effets secondaires indésirables tels que l'oxydation locale induite par la sonde, les effets bimétalliques ou la fonte du revêtement conducteur.

Il peut être combiné avec plusieurs modes dynamiques tels que MFM/EFM ou KFM, fournissant plusieurs canaux de signaux avec la même pointe sur la même zone d'échantillonnage.

Les Douceur ResiScope permet de mesurer la conductivité même en mode contact intermittent.

Ainsi, même pour les surfaces fragiles et molles, il est possible d'obtenir des cartes de conductivité qui ne pourraient jamais être mesurées avec les techniques de l'AFM à contact conducteur.

Exemples de mesures ResiScope :

ResiScope souple : Couche d'or granulaire sur Si dopé taille du balayage 5µm
Alliage d'acier inoxydable étude des grains complexes taille de balayage 1 μm.
Taille de balayage du transistor P-MOS 1,5 μm
SiC - profil de dopage

Microscopie d'impédance à micro-ondes à balayage

Microscopie d'impédance à micro-ondes à balayage (sMIM) est un nouveau mode d'imagerie AFM qui fournit la concentration et le type de porteur (n ou p) dans des images de haute qualité avec une résolution supérieure à 50 nm.

Le cœur de la technologie sMIM est l'utilisation des réflexions des micro-ondes 3GHz à partir d'une région d'échantillon à l'échelle du nm directement sous la très petite région spatiale d'une pointe de sonde sMIM.

L'analyse de la réponse de l'échantillon permet de déterminer les propriétés locales de l'échantillon : ε,σ,& μ.

Cette méthode est compatible avec une large gamme de matériaux : diélectriques, isolants, semi-conducteurs et métaux.

Contrairement à d'autres modes AFM électriques conventionnels, la méthode sMIM permet d'obtenir simultanément des images de ces différentes classes de matériaux sans avoir à procéder à des réglages ou à des mesures multiples.

SRAM, topographie et signaux dC/dV, taille de balayage 13µm

Module de champ magnétique latéral

Module de champ magnétique latéral (MLFM) permet d'effectuer des mesures de microscopie à force magnétique (MFM) dans un champ magnétique externe contrôlable. Une application possible est par exemple la cartographie du comportement des domaines magnétiques en fonction de l'intensité du champ externe.

Structures sous différents champs magnétiques, 50 à 470 gauss, 3µm, mode mlfm

Contrôle de l'environnement et accès optique

Le Nano-Observer est conçu pour offrir un contrôle de l'environnement (gaz, humidité...). Il est compatible avec tous les modes électriques qui nécessitent souvent des conditions sèches et sans oxygène.

En outre, la température de l'échantillon peut être contrôlée de l'ambiante à 200°C afin d'étudier les changements de propriétés de la surface en fonction de la température.

Une cellule liquide prête à l'emploi est également disponible. Elle permet un balayage liquide sans réglage supplémentaire ni pré-alignement laser.

La conception compacte du Nano-Observer permet en outre de l'intégrer facilement dans un dispositif d'analyse optique tel que le Raman par exemple.

HD-KFM sur échantillon HOPG contrôle de l'humidité 15 µm

0 min
15 min
30 minutes
45 minutes

Champs d'application

  • Semi-conducteurs
  • Métaux
  • Nanotechnologies
  • Photovoltaïque
  • Couches minces et revêtements
  • Polymères
  • ADN
  • Cellule
  • Protéines

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