L'ellipsométrie spectroscopique par imagerie est une technique de métrologie sans contact, entièrement optique, qui excelle dans la caractérisation de l'épaisseur des couches et des matériaux d'échantillons et de substrats de couches minces micro-structurées.
Cette technique associe l'imagerie microscopique aux principes de mesure de l'ellipsométrie spectroscopique. Il atteint une résolution spatiale supérieure, dépassant facilement les limites des autres outils de métrologie optique tels que les ellipsomètres ou les réflectomètres classiques.
Applications: Matériaux 2D, surfaces courbes, substrat transparent, ingénierie des surfaces, interface air-eau, Films anisotropes, interfaces biologiques, MEMS, photonique, écrans, matériaux pour batteries
Ellipsomètre imageur Accurion EP4, de l'UV au NIR
Accurion EP4 combine l'ellipsométrie et la microscopie pour une caractérisation précise de l'épaisseur et de l'indice de réfraction sur des microstructures de l'ordre de 1 µm.
- Toutes les structures à l'intérieur du champ de vision sont mesurées simultanément, par ellipsométrie spectroscopique sur chaque pixel.
- Mesure parallèle de plusieurs régions dans le champ de vision sélectionné
- Résolution ellipsométrique latérale la plus élevée
- Images ellipsométriques à contraste renforcé pour une visualisation en direct de l'échantillon
- Sélection intuitive de la région de mesure en dessinant des régions dans la vue de l'ellipsométrie en direct.
- Des accessoires sont disponibles pour étendre les mesures dans des conditions contrôlées ou des variations de température.
- Contrôle de la qualité : également disponible en version OEM pour le contrôle de la qualité des lignes de produits
Accurion SIMON, votre accès à l'ellipsométrie par imagerie
SIMON est spécialement conçu pour les tâches de mesure de routine et pour piquer automatiquement de grandes surfaces avec des transitions fluides.
Il peut fonctionner selon deux modes différents :
- Le mode microscopique est très rapide et permet de visualiser les variations et les défauts dans les couches les plus fines.
- Le mode ellipsométrie mesure l'épaisseur et l'indice de réfraction des matériaux de l'échantillon.
La combinaison de l'ellipsométrie et de la microscopie permet de mesurer les cartes d'épaisseur de votre échantillon.
- Ellipsomètre imageur d'entrée de gamme facile à utiliser
- Visualisation rapide de la distribution de l'épaisseur des couches et des défauts cachés sur de grandes surfaces
Contactez notre spécialiste produit Claudia au bureau roumain : claudia.moldovan@schaefer-scientific.com
