Cantilevers actifs
Les cantilevers actifs sont dotés d'un actionneur thermomécanique intégré, ainsi que d'un pont de Wheatstone piézorésistif pour l'autodétection.
Cela permet des AFM faciles à utiliser qui ne nécessitent pas de laser/détecteur, comme c'est le cas pour les AFM conventionnels basés sur la déflexion du faisceau optique avec des cantilevers passifs.
Les cantilevers actifs permettent une imagerie à haute résolution dans des environnements ambiants, liquides opaques ou sous vide.
Les matériaux de la pointe peuvent être, par exemple, le silicium ou le diamant.
Différentes formes de cantilevers actifs sont adaptées à des besoins spécifiques, y compris une vitesse d'imagerie rapide.
Kit AFM
Cet AFM unique, simple et facile à monter, offre une grande souplesse d'implémentation dans les installations industrielles ou de recherche, sans compromis sur la résolution ou la vitesse.
L'entraînement robuste et de haute précision assure une approche automatique reproductible et sûre de la pointe sur l'échantillon.
Le concept de balayage des pointes permet d'utiliser des échantillons de géométries et de tailles différentes.
Le mécanisme "plug and play" pour le remplacement du cantilever est extrêmement simple.
Kronos AFM
Le Kronos-AFM est une solution autonome permettant de couvrir différents modes de fonctionnement :
- C-AFM
- Lithographie par sonde à balayage
- Rugosité de surface
- Mode sans contact
- Mode contact
- Profilométrie
AFM dans SEM
L'AFMinSEM est un complément aux MEB existants. Il peut fonctionner dans des conditions ambiantes ou sous vide.
Le MEB, le FIB et l'AFM peuvent fonctionner de manière autonome ou simultanée. À l'aide du MEB, l'opérateur identifie une région d'intérêt, puis effectue des mesures avec l'AFM en 3D à une résolution inférieure au nanomètre.
Combiné au SEM/FIB, l'AFM peut être utilisé pour la nanofabrication corrélative.
