Aktive Ausleger
Die Active Cantilevers haben einen eingebauten thermomechanischen Aktuator sowie eine piezoresistive Wheatstone-Brücke zur Selbstabtastung.
Dies ermöglicht einfach zu bedienende AFMs, die keinen Laser/Detektor benötigen, wie dies bei herkömmlichen AFMs mit passiven Auslegern und optischer Strahlablenkung der Fall ist.
Die aktiven Cantilever ermöglichen eine hochauflösende Bildgebung bei Umgebungsbedingungen, undurchsichtigen Flüssigkeiten oder im Vakuum.
Spitzenmaterialien können z.B. Silizium oder Diamant sein.
Verschiedene Formen aktiver Cantilever sind auf spezifische Anforderungen abgestimmt, einschließlich hoher Abbildungsgeschwindigkeiten.
AFM-Bausatz
Dieses einzigartige, einfache und leicht zu bedienende AFM kann flexibel in Industrie- oder Forschungseinrichtungen eingesetzt werden, ohne Kompromisse bei der Auflösung oder Geschwindigkeit einzugehen.
Der robuste, hochpräzise Antrieb gewährleistet eine reproduzierbare und sichere automatische Annäherung der Spitze an die Probe.
Das Tip-Scanning-Konzept ermöglicht den Einsatz bei unterschiedlichen Geometrien und Größen von Proben.
Der "Plug and Play"-Mechanismus für den Austausch von Auslegern ist äußerst einfach.
Kronos AFM
Der Kronos-AFM ist eine Stand-Alone-Lösung, die verschiedene Betriebsarten abdeckt:
- C-AFM
- Rastersondenlithographie
- Oberflächenrauhigkeit
- Berührungsloser Modus
- Kontaktmodus
- Profilometrie
AFM im SEM
Das AFMinSEM ist ein Zusatzgerät zu bestehenden SEMs. Es kann unter Umgebungs- oder Vakuumbedingungen betrieben werden.
SEM, FIB und AFM können unabhängig voneinander oder gleichzeitig arbeiten. Mit dem SEM identifiziert der Bediener eine Region von Interesse und misst dann mit dem AFM in 3D mit einer Auflösung im Sub-nm-Bereich.
In Kombination mit dem SEM/FIB kann das AFM für die korrelative Nanofabrikation eingesetzt werden.
