Die ibss Group hat es sich zur Aufgabe gemacht, nicht nur den schnellsten, sichersten und effizientesten Plasmareiniger auf dem Markt anzubieten, sondern auch langfristige Beziehungen zu den Kunden und Betreibern des GV10x aufzubauen und zu pflegen, indem sie schnelle Reaktionszeiten und gründliche Erklärungen und Unterstützung bietet, die die Erwartungen übertreffen.
GV10x DS Asher
Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher, Kohlenstoffverunreinigungen zu entfernen, ist ein großer Fortschritt gegenüber den herkömmlichen Methoden zur Verringerung von Verunreinigungen durch Cold Trapping, Stickstoffspülung und andere Plasmareiniger. Der GV10x mit seinem erweiterten Leistungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) stellt einen Paradigmenwechsel bei der Kohlenstoffdekontamination von REMs und anderen Vakuumsystemen dar. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen Verunreinigungen, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasenmoleküle umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt werden. ibss Group, Inc. bietet zwei verschiedene Steuerungen für die Stromversorgung und den Betrieb der GV10x-Plasmaquellen an. Die Wahl zwischen dem BT-Controller und dem 2U-Controller ist eine Vorliebe des Laboranwenders. Die ibss GUI Software ist mit beiden Controllern kompatibel.
GV10x UHV DS Ascher
Die über das Internet gefundenen konkurrierenden Quellen sind zwar mit Hochvakuum (HV), nicht aber mit Ultrahochvakuum (UHV) kompatibel. Die Vakuumkomponenten, die für die Umwandlung von HV-Plasmaquellen in UHV-kompatible Quellen erforderlich sind, erfordern ein teures Isolierventil und Vorpumpkomponenten. Der GV10x UHV DS Asher ist so konzipiert, dass er nach der Plasmareinigung im Millitorr-Bereich in einer UHV-Kammer verbleibt, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Diese einzigartige In-Situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil und eine Vorpumpe überflüssig. Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher Kohlenwasserstoffverunreinigungen auf Synchrotronoptiken 10 bis 20 Mal effektiver und >10 Mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.
Mobiler Kubischer Ascher (MCA)
Ein mobiles Plasmazentrum, das SEM/TEM-Proben/Halter und andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und bearbeitet. Die Qwk-Switch™-Quelle erleichtert die Verlagerung der Kohlenwasserstoffentfernung an andere SEM- oder FIB-Standorte zur In-situ-Kammerreinigung. Die MCA-Kammer nimmt eine Reihe von Proben auf, um Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilisieren, drei TEM-Halter und Proben mit dem ibss-Signatur-GV10x-Downstream-Plasma zu lagern und zu reinigen, das auf einen tragbaren S/S-Wagen montiert ist.
Chiaro
Ähnlich wie MCA, aber unterschieden durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit. Ein optionales optisches Mikroskop kann installiert werden, um Proben während der Plasmakonditionierung zu montieren und zu beobachten und um mögliche Lecks in flüssigen/gasförmigen Probenzellen zu beobachten. Die Plasmabehandlung bei niedrigerem Vakuum erhöht die Plasmabehandlungsaktivität. Um die Anforderungen an die Betrachtung von gasförmigen und flüssigen Probenzellen in TEM-Haltern zu erfüllen, erfüllt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Betrachtung von gasförmigen/flüssigen E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabehandlung.
MCA Plasma Storage Expansion 3
Die Kapazitäten der MCA-Kammer können mit der Option Storage Expansion 3 auf bis zu 9 TEM-Halter erweitert werden. Diese Speichererweiterung für MCA nutzt die leistungsstarken Funktionen und die Flexibilität des MCA der ibssGroup.
SPex TEM-Halterhülse für MCA-Plasmareiniger
SPex TEM Holder Sleeve erweitert die Möglichkeiten des MCA um die Funktionalität von TEM-Haltern. SPex für MCA nutzt die leistungsstarken Fähigkeiten und die Flexibilität der MCA-Plasmareinigungsstation der ibssGroup.
Anwendungen
Die Fähigkeit des GV10x DS Asher, Kohlenstoffverunreinigungen von Elektronenmikroskopieproben und -kammern zu entfernen, ist bei Elektronenmikroskopikern weltweit anerkannt. Verbesserungen bei der Kontaminationskontrolle, die über herkömmliche Methoden hinausgehen: Plasmareiniger der ersten Generation, LN2-Fallen und N2-Spülung bieten EM-Forschern die Freiheit, Kohlenstoffartefakte in Minutenschnelle zu entfernen und den Aufbau von Kontaminationen in der Kammer zu verringern.
Die überragende Leistung des GV10x resultiert aus der Plasmaproduktion bei niedrigem Druck. Die langsame Rekombination der Plasmaspezies und die langen mittleren freien Weglängen verteilen das helle UV im gesamten Kammervolumen. Die chemische Wechselwirkung in Kombination mit dem erweiterten Leistungsbereich wandelt Oberflächenkohlenstoff in Gasphasenmoleküle um, die aus den Kammern gepumpt werden - und nicht nur auf den Fallenoberflächen immobilisiert werden.
Obwohl die Reinigungszeiten je nach Kontaminationsbelastung von Instrument zu Instrument variieren, kann der effiziente GV10x DS Asher auf mehrere Labormikroskope übertragen werden, um alle Mikroskope im Labor kontaminationsfrei zu halten. Qwk-Switch™, QSTM-Montage erleichtert den Wechsel einer GV10x-Quelle von Instrument zu Instrument.
Mit dem Fortschreiten der Nanowissenschaften werden Elektronenstrahlen immer stärker fokussiert, die Elektronenstrahl-Energien sinken und der Einsatz von Vorläufergasen wird immer häufiger. Eine hohe Auflösung bei niedriger Landeenergie hängt zunehmend von der Minimierung der Kohlenstoffkontamination auf niedrigem Niveau ab. Der nachgeschaltete Plasmaprozess von Asher erfüllt diese Aufgaben schnell und spart dem Bediener wertvolle Zeit. Im Gegensatz zur kinetischen Sputter-Ätzreinigung in den üblichen "Plasmareinigern" ist der nachgeschaltete Plasmaprozess ein schonendes chemisches Ätzen. Das Verfahren hat die Methoden zur Beseitigung von Kohlenstoffmolekülen und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.
SEM-, FIB- und TEM-Anwendungen
Die Plasmareinigung ist die effektivste nicht-invasive Methode zur Vorbereitung von Proben für die Elektronenmikroskopie, wenn ausgasende Materialien beobachtet werden. Da bei der Plasmareinigung Kohlenwasserstoff-Verunreinigungsschichten entfernt werden, können gleichzeitig auch andere Kohlenstoffstrukturen entfernt werden. Dies kann bei der TEM-Anwendung ein Problem darstellen, da die Kohlenstoffträgergitter nach jeder Reinigung an Robustheit verlieren. ibss bietet einen nicht-kinetischen, sanften Mechanismus, um die Nebenwirkungen der Wechselwirkungen zwischen Plasma und Probe zu minimieren. Die Ergebnisse zeigen, dass das System Verunreinigungen effektiv entfernt und gleichzeitig den Kohlenstoffträgerfilm für viele Reinigungsläufe erhält.
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Lastsperre
Die Reinigung der Proben in der Schleuse wird durch die Qwk-Switch-Montage und die Software erleichtert, die die Reinigung in der Schleuse und die Probeneingabe automatisiert. Die Vorreinigung an der Schleuse minimiert die Kontamination der Kammer und reduziert die Reinigung der Kammer. Die Tür der Schleuse kann sogar geöffnet werden, um die Kammer zu reinigen. Bitte kontaktieren Sie uns für ibss-Lösungen für Schleusenkonfigurationen.
Wiederherstellung der Wakefield-Beschleuniger-Optik
