La mission du Groupe ibss est non seulement de fournir le nettoyeur de plasma le plus rapide, le plus sûr et le plus efficace du marché, mais aussi de développer et de maintenir des relations à long terme avec les clients et les opérateurs du GV10x en fournissant des temps de réponse rapides et des explications et une assistance approfondies qui dépassent les attentes.
GV10x DS Asher
La capacité du GV10x Downstream Asher à éliminer la contamination par le carbone constitue une avancée majeure par rapport aux méthodes traditionnelles d'atténuation de la contamination par le piégeage à froid, la purge à l'azote et d'autres nettoyeurs à plasma. Le GV10x, avec sa gamme étendue de puissance et de pression (de 5 à 100 watts et de 2 à <0,005 Torr), représente un changement de paradigme dans la décontamination du carbone des MEB et autres systèmes sous vide. L'oxygène et l'hydrogène atomiques éliminent la contamination en convertissant le carbone de surface en molécules en phase gazeuse qui sont ensuite pompées hors des chambres. ibss Group, Inc. propose deux contrôleurs différents pour alimenter et faire fonctionner les sources de plasma GV10x. Le choix entre le contrôleur BT et le contrôleur 2U est une préférence de l'utilisateur du laboratoire. Le logiciel ibss GUI est compatible avec les deux contrôleurs.
GV10x UHV DS Asher
Les sources concurrentes découvertes par des recherches sur Internet peuvent être compatibles avec le vide poussé (HV) mais pas avec l'ultravide (UHV). Les composants de vide nécessaires pour convertir les sources de plasma HV en sources compatibles UHV nécessitent une vanne d'isolation coûteuse et des composants de pré-pompe. Le GV10x UHV DS Asher est conçu pour être installé sur une chambre UHV après le nettoyage du plasma de la chambre dans la gamme millitorr sans rompre le vide. Cette source de plasma in situ unique en son genre élimine le besoin d'une vanne d'isolation et d'une pré-pompe coûteuses. Grâce à une conception innovante de la source de plasma, le GV10x UHV Downstream Asher réduit la contamination par les hydrocarbures de 10 à 20 fois plus efficacement sur les optiques du synchrotron et >10 fois plus rapidement que les méthodes traditionnelles et les nettoyeurs de plasma.
Asher cubique mobile (MCA)
Un centre de plasma mobile qui nettoie, stocke et traite les échantillons/supports SEM/TEM et autres articles divers dans une petite chambre. La source Qwk-Switch™ facilite le déplacement de l'atténuation des hydrocarbures vers d'autres sites SEM ou FIB pour le nettoyage in situ de la chambre. La chambre MCA accueille un assortiment de spécimens pour éliminer les hydrocarbures, hydrophiliser les surfaces, stocker et nettoyer trois porte-échantillons TEM et spécimens avec le plasma GV10x Downstream signé ibss et monté sur un chariot S/S portable.
Chiaro
Semblable au MCA mais se distinguant par la pression et la vitesse turbomoléculaires. Un microscope optique optionnel peut être installé pour monter et observer les échantillons pendant le conditionnement au plasma et l'observation des fuites potentielles à partir des cellules d'échantillons liquides/gazeux. Le traitement au plasma à vide réduit augmente l'activité du traitement au plasma. Pour répondre aux exigences d'observation des cellules d'échantillons gazeux et liquides dans les porte-échantillons TEM, le Chiaro remplit les fonctions de vérification des fuites, d'observation des puces électroniques gaz/liquide pendant l'enrobage, d'hydrophilisation de la surface et de traitement au plasma.
Extension du stockage de plasma MCA 3
Les capacités de la chambre MCA peuvent être étendues pour accueillir jusqu'à 9 détenteurs de TEM avec l'ajout de l'option Storage Expansion 3. Cette extension de stockage pour le MCA exploite les puissantes capacités et la flexibilité du MCA d'ibssGroup.
Douille de support TEM SPex pour nettoyeur de plasma MCA
Le SPex TEM Holder Sleeve élargit les capacités du MCA afin d'y intégrer les fonctionnalités du TEM Holder. SPex pour MCA exploite les puissantes capacités et la flexibilité de la station de nettoyage plasma MCA d'ibssGroup.
Applications
La capacité du GV10x DS Asher à éliminer la contamination par le carbone des échantillons et des chambres de microscopie électronique est reconnue par les microscopistes électroniques du monde entier. Les améliorations en matière de contrôle de la contamination dépassent les méthodes traditionnelles : les nettoyeurs à plasma de première génération, le piégeage du LN2, la purge du N2 offrent aux chercheurs en microscopie électronique la liberté d'éliminer les artefacts de carbone en quelques minutes et d'atténuer l'accumulation de la contamination dans les chambres.
Les performances supérieures du GV10x résultent de la production de plasma à basse pression. La recombinaison lente des espèces plasmatiques et les longs trajets libres moyens dispersent les UV brillants dans tout le volume de la chambre. L'interaction chimique combinée à une gamme de puissance étendue convertit le carbone de surface en molécules en phase gazeuse qui sont pompées hors des chambres - et pas seulement immobilisées sur les surfaces de piégeage.
Bien que les temps de nettoyage varient d'un instrument à l'autre en fonction des charges de contamination, l'efficace GV10x DS Asher peut être déplacé sur plusieurs outils de microscopes de laboratoire afin de maintenir tous les microscopes du laboratoire exempts de contamination. Le montage Qwk-Switch™, QSTM facilite le déplacement d'une GV10x Source d'un instrument à l'autre.
Avec la progression des nanosciences, les faisceaux d'électrons deviennent plus focalisés, les énergies des faisceaux d'électrons diminuent et l'utilisation de gaz précurseurs devient plus courante. La haute résolution à faible énergie d'atterrissage dépend de plus en plus de la minimisation de la contamination par le carbone à de faibles niveaux. Le procédé plasma aval Asher permet d'accomplir ces tâches rapidement et facilement, ce qui fait gagner un temps précieux à l'opérateur. Contrairement au nettoyage cinétique par pulvérisation cathodique des "nettoyeurs plasma" habituels, le processus plasma en aval est une gravure chimique douce. Ce procédé a révolutionné les moyens d'éliminer les molécules de carbone et les hydrocarbures dans les chambres à vide.
Applications SEM, FIB et TEM
Le nettoyage au plasma est le moyen le plus efficace et le moins invasif de préparer des échantillons pour la microscopie électronique lorsque des matériaux dégazant sont observés. Comme le processus de nettoyage au plasma élimine les couches de contamination par les hydrocarbures, il peut éliminer d'autres structures de carbone en même temps. Cela peut être un problème pour les applications TEM car les grilles de support en carbone deviennent moins robustes après chaque période de nettoyage. ibss offre un mécanisme non cinétique et doux pour minimiser les effets secondaires des interactions entre le plasma et l'échantillon. Les résultats montrent que le système élimine efficacement la contamination tout en préservant le film de support en carbone pendant de nombreux cycles de nettoyage.
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Verrouillage de la charge
Le nettoyage des échantillons dans les sas est facilité par le montage et le logiciel Qwk-Switch qui automatise le nettoyage dans le sas et l'entrée des échantillons. Le pré-nettoyage du sas de chargement minimise la contamination de la chambre et réduit son nettoyage. En fait, la porte du sas peut être ouverte pour nettoyer la chambre. Veuillez nous contacter pour des solutions ibss sur les configurations de sas de chargement.
Restauration de l'optique de l'accélérateur de Wakefield
