Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den bewährten optischen Messverfahren zur Erfassung von 3D-Topographien mit einer Tiefenauflösung im unteren Nanometerbereich. Da die Messpunkte parallel aufgenommen und verarbeitet werden, kann die Höheninformation in sehr kurzer Zeit großflächig erfasst werden.
Die smartWLI-Produktfamilie bietet innovative Lösungen, die auf diesem Messprinzip basieren. Der gesamte Messprozess wird über die bewährte smartWLI-Software gesteuert und ausgewertet. Die effizienten, robusten und hochgenauen Analysealgorithmen sind das Ergebnis umfangreicher Forschung und Erfahrung auf diesem Gebiet.
Typische Anwendungen in Forschung und Qualitätsmanagement sind die Charakterisierung von Oberflächen mit unterschiedlichen Rauheitsparametern (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Vermessung von gekrümmten Oberflächen wie Mikrolinsen.
SmartWLI Erweitert
Freistehendes 3D-Weißlicht-Interferometer für Oberflächen. Das System umfasst einen Objektivrevolver und einen motorisierten XY-Tisch. Dadurch können auch Proben gemessen werden, die größer als das Sichtfeld des Objektivs sind (Stitching).
SmartWLI Prime
Der SmartWLI-Prime ermöglicht die Messung von Probenoberflächen mit einer Auflösung im Nanometerbereich. Die anschließende Auswertung erfolgt auf einem Laptop oder Desktop-PC.
Dank seiner kompakten Bauweise kann das Gerät in einer Vielzahl von Umgebungen eingesetzt werden. Typische Anwendungen sind neben der Forschung auch das Qualitätsmanagement und die Prozesskontrolle. Dank seiner schnellen und präzisen Messtechnik ist der SmartWLI-Prime ideal für die Bestimmung der notwendigen Parameter für die Produkt- und Prozessqualität.
SmartWLI-Mikroskop
Klassische Lichtmikroskope können zu vollwertigen 3D-Profilometern aufgerüstet werden und so ihr Anwendungsspektrum erheblich erweitern.
Zusätzlich zu den Mikroskopiebildern können präzise 3D-Daten der Oberfläche im Sichtfeld des Objektivs gemessen und analysiert werden.
Erhältlich als Nachrüstung für alle gängigen Auflichtmikroskope verschiedener Hersteller: Zeiss, Nikon, Mitutoyo, Olympus, Leica, etc.
SmartWLI-Zylinderinspektor
Weißlicht-Interferometer, insbesondere für die berührungslose Messung von zylindrischen Oberflächen.
