L'interférométrie en lumière blanche est l'une des techniques de mesure optique éprouvées pour l'enregistrement de topographies en 3D avec une résolution en profondeur de l'ordre du nanomètre. Comme les points de mesure sont enregistrés et traités en parallèle, les informations sur la hauteur peuvent être enregistrées sur une grande surface en très peu de temps.
La famille de produits smartWLI offre des solutions innovantes basées sur ce principe de mesure. L'ensemble du processus de mesure est contrôlé et analysé à l'aide du logiciel éprouvé smartWLI. Les algorithmes d'analyse efficaces, robustes et très précis sont le résultat d'une recherche et d'une expérience approfondies dans ce domaine.
Les applications typiques dans le domaine de la recherche et de la gestion de la qualité comprennent la caractérisation de surfaces présentant différents paramètres de rugosité (structures de plaquettes, miroirs, verre, métaux), la détermination de la hauteur des marches et la mesure précise de surfaces incurvées telles que les microlentilles.
SmartWLI étendu
Interféromètre à lumière blanche de surface 3D autonome. Le système comprend un nez et une platine XY motorisée. Cela signifie que des échantillons plus grands que le champ de vision de l'objectif peuvent également être mesurés (stitching).
SmartWLI Prime
Le SmartWLI-Prime permet de mesurer les surfaces des échantillons avec une résolution de l'ordre du nanomètre. L'analyse ultérieure est effectuée sur un ordinateur portable ou de bureau.
Grâce à sa conception compacte, l'appareil peut être utilisé dans une grande variété d'environnements. Outre les applications de recherche, les applications typiques comprennent la gestion de la qualité et le contrôle des processus. Grâce à sa technologie de mesure rapide et précise, le SmartWLI-Prime est idéal pour déterminer les paramètres nécessaires à la qualité des produits et des processus.
Microscope SmartWLI
Les microscopes optiques classiques peuvent être transformés en profilomètres 3D à part entière, ce qui permet d'élargir considérablement leur champ d'application.
En plus des images microscopiques, des données 3D précises de la surface dans le champ de vision de l'objectif peuvent être mesurées et analysées.
Disponible comme mise à niveau pour tous les microscopes à lumière réfléchie courants de divers fabricants : Zeiss, Nikon, Mitutoyo, Olympus, Leica, etc.
SmartWLI Cylinderinspector
Interféromètre à lumière blanche, notamment pour la mesure sans contact de surfaces cylindriques.
