Die abbildende spektroskopische Ellipsometrie ist ein rein optisches, berührungsloses Messverfahren, das sich hervorragend für die Schichtdicken- und Materialcharakterisierung von mikrostrukturierten Dünnschichtproben und Substraten eignet.
Das Verfahren kombiniert mikroskopische Bildgebung mit den Messprinzipien der spektroskopischen Ellipsometrie. Es erreicht eine überragende räumliche Auflösung, die die Grenzen anderer optischer Messgeräte wie herkömmlicher Ellipsometer oder Reflektometer leicht übertrifft.
Anwendungen: 2D-Materialien, gekrümmte Oberflächen, transparente Substrate, Oberflächentechnik, Luft-Wasser-Grenzflächen, Anisotrope Schichten, Bio-Grenzflächen, MEMS, Photonik, Displays, Batteriematerialien
Abbildendes Ellipsometer Accurion EP4, von UV bis NIR
Accurion EP4 kombiniert Ellipsometrie und Mikroskopie zur präzisen Charakterisierung der Dicke und des Brechungsindexes bei Mikrostrukturen von nur 1 µm.
- Alle Strukturen innerhalb des Sichtfelds werden gleichzeitig gemessen, spektroskopische Ellipsometrie an jedem Pixel
- Parallele Messung mehrerer Regionen innerhalb des gewählten Sichtfeldes
- Höchste laterale ellipsometrische Auflösung
- Ellipsometrisch verstärkte Kontrastbilder für eine Live-Visualisierung der Probe
- Intuitive Auswahl des Messbereichs durch Einzeichnen von Bereichen in der Live-Ellipsometrie-Ansicht.
- Es ist Zubehör erhältlich, um Messungen unter kontrollierten Bedingungen oder Temperaturschwankungen zu erweitern
- Qualitätskontrolle: auch als OEM-Version für QC in Produktlinien erhältlich
Accurion SIMON, Ihr Einstieg in die bildgebende Ellipsometrie
SIMON wurde speziell für Routinemessungen und zum automatischen Nähen großer Flächen mit fließenden Übergängen entwickelt.
Er kann in zwei verschiedenen Modi betrieben werden:
- Der mikroskopische Modus ist sehr schnell und ermöglicht die Visualisierung von Abweichungen und Defekten in den dünnsten Schichten
- Im Ellipsometrie-Modus werden die Dicke und der Brechungsindex der Probenmaterialien gemessen.
Die Kombination von Ellipsometrie und Mikroskopie ermöglicht die Messung von Dickenkarten Ihrer Probe
- Einfach zu bedienendes Einstiegs-Ellipsometer für die Bildgebung
- Schnelle Visualisierung der Schichtdickenverteilung und versteckter Defekte auf großen Flächen
Setzen Sie sich mit unserer Produktspezialistin Claudia im rumänischen Büro in Verbindung: claudia.moldovan@schaefer-scientific.com
